西斯特微孔陶瓷吸盤,是利用真空吸附原理固定工件的承載平臺,經過特殊的納米粉體工藝制作而成,通過高溫燒結在材料內部彼此連接或閉合。公司生產的微孔陶瓷吸盤可以和國內外主流設備配套使用,具有優越的性能。
主要特點:
1、孔徑分布均勻,組織致密均勻,顆粒粗細均勻。
2、透氣性好,吸附力均勻。
3、表面光滑平整。
4、多種孔徑規格可選,方形\圓形可選。
5、可加工2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸、12英寸半導體片。
6、可配套減薄機、劃片機、清洗機等設備。
產品規格:
1、底座及邊框可選材質:鋁合金、不銹鋼、陶瓷
2、尺寸范圍:φ/5-500mm
3、微孔尺寸:1-700μm
4、氣孔率:30-40%
5、透氣均勻性:10×10mm
6、區域內壓差:±3Kpa